电容式压力传感器已经被证明具有广泛的应用价值，人们可以通过对其介电层的几何形状或材料进行控制进而实现调谐。斯坦福大学鲍哲南教授团队提出了一种改进的制备方法，即通过使用金字塔微结构介电层和叠层来构建可调、稳定和可重现的压力传感器。结果表明，该传感器的性能可以与预期相匹配。研究人员在此基础上建立了一个简单的数学模型，并对其有效性进行了实验验证；随后利用该模型对材料和微观结构的几何特性对传感器性能的影响进行了预估，成功地证明了该方法能够有针对性地设计用于体外脉冲传感压力传感器。

Sara Rachel Arussy Ruth, Zhenan Bao. et al. Rational Design of Capacitive Pressure Sensors Based on Pyramidal Microstructures for Specialized Monitoring of Biosignals. Advanced Functional Materials. 2019

DOI: 10.1002/adfm.201903100

https://doi.org/10.1002/adfm.201903100