Nano Letters:原位边缘接触让二维器件免疫于接触尺寸缩放
Yolerz Yolerz 2019-08-21

二维半导体材料由于其超薄的体厚度(~ 1 nm)使得其成为极有潜力的晶体管沟道材料,可用于未来极小集成电路。二维材料超薄的体厚度带来强劲的栅极控制,从而减小困扰着当今纳米电子器件的短沟道效应。缩放晶体管的尺寸需要同时减小沟道(源极到漏极的距离)和接触(源极和漏极本身)的尺寸。虽然减小沟道尺寸经常被研究,减小接触电极本身的尺寸还极少被研究,成为影响未来各种半导体器件发展的瓶颈。


杜克大学Aaron Franklin团队和北卡罗来纳州立大学Linyou Cao团队实现了世界上首次纯in situ边缘接触一层到多层二维材料,并研究了边缘接触对减小接触尺寸的影响,最小至20 nm。使用定向氩离子束,实现了各种金属对各个厚度的二维材料之间的in situ边缘接触。Cross-sectional STEM也用来用表征不同边缘接触的原子级形态。 原位边缘接触与现有最好的非原位边缘接触相比,展现了超过10倍的性能提升。更重要的是,原位边缘接触方案有力的解决了晶体管中的缩放接触电极尺寸问题,开辟了设计二维材料器件的新方法。

 

Zhihui Cheng, Yifei Yu, Shreya Singh, Katherine Price, Steven G Noyce, Yuh-Chen Lin, Linyou Cao, Aaron D FranklinImmunity to Contact Scaling in MoS2 Transistors Using in Situ Edge Contacts. Nano Letters, 2019.

DOI: 10.1021/acs.nanolett.9b01355

https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.nanolett.9b01355

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