在过去的几十年中，在使用各种光源在电子材料的光子处理领域已经取得了重大进展。这些技术中的一些现在已经与新兴的电子材料一起被开发出来，作为传统高温热退火的替代品，提供了快速制造时间和与温度敏感衬底材料的兼容性等潜在优势。近日，诺丁汉特伦特大学Nikolaos Kalfagiannis、Demosthenes C. Koutsogeorgis和阿卜杜拉国王科技大学Thomas D. Anthopoulos综述了金属氧化物薄膜晶体管(TFTs)光子处理范例的最新进展，着重介绍了各种现有技术的优缺点，特别强调了各种光源技术在前驱体材料光化学和热化学转换或金属氧化物沉积后处理方面的应用，以及它们在薄膜电子领域的应用。

Emre Yarali, Christina Koutsiaki, Hendrik Faber, Kornelius Tetzner, Emre Yengel, Panos Patsalas, Nikolaos Kalfagiannis, Demosthenes C. Koutsogeorgis, Thomas D. Anthopoulos. Recent Progress in Photonic Processing of Metal‐Oxide Transistors. Advanced Functional Materials. 2019

DOI: 10.1002/adfm.201906022

https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/adfm.201906022