大型裸眼三维（3D）显示是用于深海科学研究的实时地形调查中的关键设备。低阻抗透明导电铟锡氧化物（ITO）薄膜电极作为核心组件，其缺乏可靠的工业制备方法。在3D显示器中，具有低电阻ITO膜电极的光栅元件应具有良好的双目视差以良好地驱动显示器。然而，在沉积过程中，ITO膜的温度升高可能引起其结晶，并且其蚀刻残留物可能导致ITO电极之间的短路以及异常的显示操作。近日，中国地质大学Xiang Yu联合瓦伦西亚大学Rabah Boukherroub提出了一种简单直接的技术，即通过控制沉积过程中的水蒸气流速来生产非晶ITO薄膜。该技术可以蚀刻获得的ITO非晶厚膜（300 nm），而不会在显示表面上留下残留物，从而确保3D显示器的生动显示性能。使用由3D视差栅栏和2D显示器组成的3D显示器的现场测试不会出现由先前设备中遇到的残留物引起的短路现象。这项工作使得3D显示在满足非蚀刻残留物和降低电阻值的基础上，可用于实时地形测量。

Yu, X. Boukherroub, R. et al. Preparation of Low Resistance and Residuefree ITO Films for Large-scale 3D Displays. AMI 2019.

DOI:10.1021/acsami.9b16782

https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsami.9b16782