三维（3D）纳米结构的制造引起了纳米技术的许多领域的广泛兴趣，这些领域目前正受到传统光刻技术的基本局限性的挑战。聚焦电子束诱导沉积（FEBID）是最有前景的直接制备三维纳米材料的方法之一，它具有高的空间分辨率和多功能性。于此，英国格拉斯哥大学Amalio Fernández-Pacheco和剑桥大学Luka Skoric等人将常规宏观3D打印机的逐层方法与电子束光刻的邻近效应校正相结合，将FEBID扩展到复杂形状3D纳米结构的生长。该框架基于连续FEBID模型，并且能够针对沉积过程中存在的各种影响进行调整，包括光束感应加热、散焦和气体通量各向异性。研究人员通过直接从标准立体光刻（STL）文件并使用不同的前体制造独立的纳米线、具有不同曲率和拓扑结构的表面以及通用3D对象来证明该平台的功能。真实的三维纳米打印为研究和开发三维纳米现象开辟了振奋人心的途径。

Luka Skoric, Dédalo Sanz-Hernández, Fanfan Meng, Claire Donnelly, Sara Merino-Aceituno, and Amalio Fernández-Pacheco. Layer-by-Layer Growth of Complex-Shaped Three-Dimensional Nanostructures with Focused Electron Beams. Nano Letters 2019.

https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.9b03565