在基底上直接合成金属有机骨架化合物（MOF）能够作为功能器件使用，但是目前此类方法仅仅存在于液相中进行，相关直接进行纳米制造的方法还鲜有报道。目前少量的气相沉积合成MOF的方法需要多步进行，比如在基底上沉积（matrix deposition）并进行再转化（post-conversion）才能得到基底上沉积的MOF材料。澳大利亚新南威尔士大学Li Sean， Li Lain-Jong等报道了在蓝宝石基底上生长ZIF-67薄膜和其在气体传感器上的应用。

本文要点：

（1）通过蒸气气相沉积方法（stream-assist chemical vapor deposition）在<125 ℃中在基底上直接合成了高度晶化的ZIF-67薄膜。通过缓慢的沉积速率，在c-plane蓝宝石基底上生成了具备高度方向性的ZIF-67。作者发现通过这种方法得到的器件能够实现在化学传感上应用。

        将乙酰丙酮钴和2-甲基咪唑（气流上端）放在加热区域中，蓝宝石基底（气流下端）放在乙酰丙酮钴附近，在100 sccm Ar/H₂O混合气中进行沉积。测试了其对100 ppm~15 %的甲醇响应性能。

参考文献

Jing-Kai Huang; Noboru Saito; Yichen Cai; Yi Wan; Chia-Chin Cheng; Mengliu Li; Junjie Shi; Kaoru Tamada; Vincent C. Tung; Sean Li*; Lain-Jong Li*

Steam-Assisted Chemical Vapor Deposition of Zeolitic Imidazolate Framework

ACS Materials Lett, 2020, 2, XXX, 485-491. DOI：10.1021/acsmaterialslett.0c00026

https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acsmaterialslett.0c00026