微电子热电发电机（µTEGs）是为能源自主电子(如物联网传感器)供电的一种潜在解决方案，这些电子设备必须携带自己的电源。然而，由高热电品质因数材料制成的芯片上集成所需面积为mm²的热电发电机一直无法产生使用普通温差运行硅电子产品所需的电压和功率水平。

近日，美国得克萨斯大学达拉斯分校Mark Lee报道了使用通过标准Si工艺制造的Si_0.97Ge_0.03的µTEGs，其高压和发电密度可与使用高品质因数材料的发电机相媲美或性能更好。

文章要点

1）这些基于Si的µTEGs的面积小于1 mm²，可以在室温附近使用≤25K的温差为现成的传感器集成电路供电。

2）这些µTEGs可以直接与硅电路集成，并在面积上进行放大，以一种更具成本效益的方式，产生与现有热电技术竞争的电压和功率。

Dhawan, R., Madusanka, P., Hu, G. et al. Si_0.97Ge_0.03 microelectronic thermoelectric generators with high power and voltage densities. Nat Commun 11, 4362 (2020)

DOI：10.1038/s41467-020-18122-3

https://doi.org/10.1038/s41467-020-18122-3