Nano Lett.:制备绝缘SiO2上的厘米级单晶石墨烯用于电子器件
芣苢 西瓜 2020-11-20

石墨烯在SiO2上的材料可以用于制备与Si技术兼容的器件,但是由于相对较小的晶粒尺寸或器件污染,这些器件从其它衬底的转移和直接生长受到严重限制。近日,中国科学院大学物理研究所Hongliang Lu,Shixuan Du,Lihong Bao等报道了一种高效,无需转移的方法,可在绝缘的SiO2薄膜上合成质量适合电子设备的厘米级单晶石墨烯。

本文要点:

1作者首先在Ru(0001)上外延生长高质量的单晶石墨烯,然后通过逐步插入硅和氧,在石墨烯下生长SiO2膜。

2作者成功制备出薄(〜1 nm)的晶体或较厚(〜2 nm)的无定形SiO2。厚的无定形SiO2的绝缘性通过传输测量得到了验证。

3通过观察原位制备的霍尔棒器件中的Shubnikov-de Haas振荡,整数量子霍尔效应和弱反局域效应,可以确认相应石墨烯的器件质量。

该工作为合成大规模,高质量的石墨烯用于电子领域提供了基础。

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Hui Guo, et al. Insulating SiO2 under Centimeter-Scale, Single-Crystal Graphene Enables Electronic-Device Fabrication. Nano Lett., 2020

DOI: 10.1021/acs.nanolett.0c03254

https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.0c03254

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