在聚合物薄膜衬底(Tenv< 150 °C)上高温(Tg>800 ℃)生长高质量的硅纳米线(SiNWs)对于制造高性能、柔性和可穿戴的电子产品具有重要意义,但极具挑战性。
近日,南京大学余林蔚教授,刘宗光报道了一种在聚合物/玻璃衬底上超快生长速度(vnw>3.5 μm s−1)生长高质量SiNWs的方法。
文章要点
1)研究人员采用808 nm的特定激光加热金属铟催化剂液滴,吸收非晶Si层以产生SiNWs。此外,由于纳米液滴的极小热容,SiNWs生长可以通过快速的激光开关顺序进行瞬间加热和冷却,从而实现了对超长SiNWs直径的精准调节。
2)研究人员在激光液滴加热生长的SiNWs上制作了场效应晶体管(FET)器件,其具有超过104的高电流开关比(Ion/Ioff)以及386 mV dec-1的亚阈值摆幅(subthreshold swing)。从而为开发高性能柔性电子产品开辟了一条通用的新途径,即直接在大面积和轻质的聚合物基板上集成高质量的纳米线沟道。
参考文献
Ting Zhang, et al, Superfast Growth Dynamics of High-Quality Silicon Nanowires on Polymer Films via Self-Selected Laser-Droplet-Heating, Nano Lett., 2020
DOI: 10.1021/acs.nanolett.0c04058
https://dx.doi.org/10.1021/acs.nanolett.0c04058