ACS Nano:通过逐层纳米压印制造的大面积纳米间隙可控的3D纳米体系结构
Nanoyu Nanoyu 2021-01-17


目前,大面积柔性纳米结构的制备面临着与三维多层纳米结构、超小纳米间隙和尺寸可控纳米网格的特殊要求等相关的各种挑战。

有鉴于此,为了克服这些严峻的挑战,韩国科学技术院Inkyu Park,韩国机械材料研究所Jun-Ho Jeong报道了一种在柔性衬底上利用高于衬底玻璃化转变温度(Tg)的温度和逐层纳米压印来制备晶片尺寸的超小纳米间隙的简单方法。

文章要点

1通过调节压力、加热时间和加热温度,研究人员实现了纳米隙大小的简单控制。此外,采用该方法制备了2、3、5、7和20层的三维多层纳米结构和纳米复合材料。高分辨透射电子显微镜(HRTEM)观察到了尺寸在1~40 nm之间的纳米间隙。

2研究人员利用聚焦离子束(FIB)技术对多层纳米结构进行了表征。与传统方法相比,该方法不仅可以很容易地控制柔性大面积衬底上的纳米间隙的大小,而且可以快速、简单、低成本地制备三维多层纳米结构和纳米复合材料,而不需要任何后处理。此外,还制作了透明电极和纳米加热器,并对其进行了评估。最后,利用罗丹明6G对具有不同纳米间隙的表面增强拉曼散射基底进行了研究。

该方法可以解决纳米加工高要求的问题,可应用于小分子检测以及柔性电子和软驱动器的制造。

 

参考文献

Zhi-Jun Zhao, et al, Large-Area Nanogap-Controlled 3D Nanoarchitectures Fabricated via Layer-by-Layer Nanoimprint, ACS Nano

DOI: 10.1021/acsnano.0c05290

https://dx.doi.org/10.1021/acsnano.0c05290


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