加州大学伯克利分校Ramamoorthy Ramesh等报道了通过焦绿石氧化物(pyrochlore oxide)导电电极作为结构上和化学模板,合成了铁电Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)外延薄膜。此类焦绿石氧化物,比如PbIr2O7 (PIO)、Bi2Ru2O7 (BRO),在室温中表现为金属态(电阻<1 mΩ cm),进一步的作者发现其晶格结构和Y2O3稳定的ZrO2基底、HZO层的晶格都能够匹配。
通过X射线、STEM表征方法验证了外延生长和形成畴结构,HZO薄膜的c轴很好的结合在底物上。进一步的,作者发现当HZO薄膜的厚度≥30 nm,从极性正交晶相中发现了出现非极性单斜晶相,通过热力学分析发现外延应力、界面能量是稳定极性晶相的主要作用。
参考文献
Zhang, Z., Hsu, S.‐L., Stoica, V. A., Paik, H., Parsonnet, E., Qualls, A., Wang, J., Xie, L., Kumari, M., Das, S., Leng, Z., McBriarty, M., Proksch, R., Gruverman, A., Schlom, D. G., Chen, L. Q., Salahuddin, S., Martin, L. W., Ramesh, R., Epitaxial Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 with Metallic Pyrochlore Oxide Electrodes. Adv. Mater. 2021, 2006089.
DOI: 10.1002/adma.202006089
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/adma.202006089