目前大多数合成二维材料的方法通常无法与传统半导体工业(450 ℃)的后段制程兼容。
有鉴于此,湖南大学段曦东(Xidong Duan)、黎博(Bo Li)等报道一种具有普适性的BiOCl辅助化学气相沉积法,能够低温合成27种超薄的二维层状材料。
当BiOCl与金属粉末混合制备的方式生成挥发性中间体物种,能够在280-500 ℃制备超薄二维层状材料,这个温度比盐辅助化学气相沉积方法需要的温度低200~300 ℃。
参考文献
Qin, B., Saeed, M.Z., Li, Q. et al. General low-temperature growth of two-dimensional nanosheets from layered and nonlayered materials. Nat Commun 14, 304 (2023)
DOI: 10.1038/s41467-023-35983-6
https://www.nature.com/articles/s41467-023-35983-6