实现微机电系统（MEMS）谐振器需要对器件进行深入的微观理解，例如能量耗散通道、寄生模式和微制造的缺陷。鉴于此，来自德克萨斯大学奥斯汀分校物理系的Keji Lai等人报道了独立超高频（3–30 GHz）横向泛音体声谐振器，具有前所未有的空间分辨率和位移灵敏度。

文章要点：

1) 该研究通过使用传输模式微波阻抗显微镜，成功可视化了单个泛音的模式分布，并分析了高阶横向寄生模式和锚定损耗；

2) 此外，集成的TMIM信号与谐振器中存储的机械能非常一致，有限元模型的定量分析表明，噪声基底相当于10 fm/√Hz，且在低温环境下可以进一步改善，这一工作有助于设计和表征具有更好性能的MEMS谐振器，用于电信、传感和量子信息科学应用。

参考资料：

Lee, D., Jahanbani, S., Kramer, J. et al. Nanoscale imaging of super-high-frequency microelectromechanical resonators with femtometer sensitivity. Nat Commun 14, 1188 (2023).

DOI: 10.1038/s41467-023-36936-9

https://doi.org/10.1038/s41467-023-36936-9