Nature Materials:高介电常数单晶范德华层状电介质
吴宗涵 Hwak 2023-03-10

硅基晶体管在10纳米以下技术节点上的规模化面临着挑战,对于下一代纳米电子学,具有原子厚度和悬空无键表面的高迁移率二维(2D)层状半导体有望作为沟道材料,以实现更小的沟道尺寸、更少的界面散射和更有效的栅场穿透。然而,2D电子技术的进一步发展受到一些因素的阻碍,例如缺乏具有原子平面和悬空无键表面的高介电常数(κ)电介质。鉴于此,来自北京大学化学与分子工程学院Hailin Peng等人开发了一种简单的单晶高κ(κ约为16.5)范德华层状电介质Bi2SeO5的合成。

文章要点:

1) 该研究成功证实,厘米级的Bi2SeO5单晶可以有效地剥离成原子级的纳米片,尺寸为250×200μm2,且厚度薄如单层;

2) 此外,使用这些Bi2SeO5纳米片作为电介质和封装层,诸如Bi2O2Se、MoS2和石墨烯的2D材料展现出了改进的电子性能,例如,在2D Bi2O2Se中,观察到了量子霍尔效应,且载流子迁移率在1.8K达到470000cm2·V1·s1,这一发现拓展了电介质的领域,为降低2D电子和集成电路中的栅极电压和功耗开辟了新的可能性。

参考资料:

Zhang, C., Tu, T., Wang, J. et al. Single-crystalline van der Waals layered dielectric with high dielectric constant. Nat. Mater. (2023).

DOI: 10.1038/s41563-023-01502-7

https://doi.org/10.1038/s41563-023-01502-7


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