金属透镜是传统笨重折射透镜的有吸引力的替代品,因为它们具有优异的光调制性能和亚微米级的厚度;然而,现有制造技术的局限性,包括高成本、低产量和小的图案化面积,阻碍了它们的大规模生产。鉴于此,来自浦项科技大学机械工程系的Junsuk Rho等人展示了使用深紫外氟化氩浸没光刻和晶圆级纳米压印光刻低成本、高通量大规模生产大孔径可见金属。
文章要点:
1) 该研究发现,一旦压印了12英寸的母模,就可以使用薄涂层的高折射率膜来制造数百厘米级的金属套,以增强光限制,从而大幅提高转换效率;
2) 此外,作为概念性的验证,研究还采用印刷金属制作的超薄虚拟现实设备展示了其在可扩展制造隐喻设备方面的潜力。
参考资料:
Kim, J., Seong, J., Kim, W. et al. Scalable manufacturing of high-index atomic layer–polymer hybrid metasurfaces for metaphotonics in the visible. Nat. Mater. (2023).
DOI: 10.1038/s41563-023-01485-5
https://doi.org/10.1038/s41563-023-01485-5