III-氮化物宽能带半导体是具有前景的现代光电子学和电子学的光电材料,因为在晶格不匹配外源基底表面连续高品质外延薄膜生长技术的快速发展,这些材料的应用得到显著发展进步。
与体相单晶相比,外延薄膜材料的品质仍需要改善。有鉴于此,北京大学沈波、许福军等通过控制基底柱状结构的离散和合并,实现一种高品质III-氮化物外延薄膜的生长方法。
参考文献
Jiaming Wang, Nan Xie, Fujun Xu, Lisheng Zhang, Jing Lang, Xiangning Kang, Zhixin Qin, Xuelin Yang, Ning Tang, Xinqiang Wang, Weikun Ge & Bo Shen, Group-III nitride heteroepitaxial films approaching bulk-class quality, Nat. Mater. (2023).
DOI: 10.1038/s41563-023-01573-6
https://www.nature.com/articles/s41563-023-01573-6