Chang等人通过原子力显微镜和x射线光电发射光谱，对包括Si、SiNx、SiO₂和W等器件级薄膜在动态细胞培养液中的溶解动力学和纳米尺度的生物吸收行为进行了调研。利用原位实验研究由细胞-胞外的细胞牵引力诱导产生的力传导，使得对这些材料和它们的微组分的细胞毒性有了一个清晰的认识。实验表明浓度大于6 mM的W具备潜在的细胞毒性。这一发现说明现代硅基电子技术的生物相容性是良好的，也是一种可以直接与生命组织接触的微型系统。

Chang, J.K., Emon, M.A.B. et al. Cytotoxicity and in vitro Degradation Kinetics of Foundry-Compatible Semiconductor Nanomembranes and Electronic Microcomponents.  ACS Nano

DOI: 10.1021/acsnano.8b04513

https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.8b04513