有机发光二极管（OLED）直接沉积在硅基互补金属氧化物半导体（CMOS）芯片上，使得自发光微型显示器具有高分辨率和填充因子。OLED在增强现实和虚拟现实(AR/VR)显示以及生物医学应用中的新兴应用，例如作为光遗传学中用于细胞特异性光传输的大脑植入物，需要比传统显示器中的光强度高出几个数量级的光强度。进一步的要求通常包括微观器件占地面积、特定形状和超稳定钝化，例如确保基于OLED的植入物的生物相容性和微创性。

在这里，圣安德鲁斯大学Sabina Hillebrandt，Malte C. Gather报道了多达1024个超亮微型OLED直接沉积在针状CMOS芯片上。

文章要点

1）将提供的CMOS芯片铝接触垫进行透射电子显微镜和能量色散X射线光谱分析，以指导接触的系统优化。

2）等离子处理和银中间层的实现产生了欧姆接触条件，从而促进了橙色和蓝色发光OLED堆栈的直接真空沉积，从而在芯片上形成了微米尺寸的像素。每个针中的电子器件允许单独切换每个像素。OLED像素产生的平均光功率密度为0.25 mW/mm²，相当于>40,000 cd/m²，远高于日光AR应用和大脑中光遗传学单单元激活的要求。

参考文献

Sabina Hillebrandt, et al, High-density Integration of Ultrabright OLEDs on a Miniaturized Needle-shaped CMOS backplane, Adv. Mater. 2023

DOI: 10.1002/adma.202300578

https://doi.org/10.1002/adma.202300578