可拉伸压力传感器阵列是仿生电子皮肤（e-skin）的理想选择。然而，传统的压力传感器在拉伸时表现出明显的应变干扰。
于此，电子科技大学林媛、黄振龙等人介绍了一种基于双频带激光选择性蚀刻的先进制造方法，以创建不受应变干扰的可拉伸压力传感器阵列。
本文要点：
1） 将完整的敏感膜夹在顶部电极和底部电极之间，然后蚀刻成单独的感测单元。采用具有极低杨氏模量（0.157kPa）的硅胶作为应变缓冲层，填充传感单元内的空间以在拉伸过程中吸收器件应变。
2） 压力传感器阵列表现出卓越的无干扰性能，感测单元的电阻在超过20%的应变下保持不变。制造了32×32个单元的压力传感器阵列，在压缩和释放过程中，电阻响应时间分别为≈40 ms和20 ms，在1–70 kPa范围内，灵敏度为0.7702 kPa−1。
3） 最后，将传感器阵列作为仿生电子皮肤集成到机械手中，并结合深度学习算法，成功识别静态和动态压力分布，在识别2D形状和物体方面实现了99%以上的平均准确率。
参考文献：
H. Xie, Z. Huang, J. Wan, R. Zhou, T. Chen, Y. Wang, D. Cheng, L. Yang, J. Ji, Y. Jiang, T. Wu, J. Liu, T. Pan, B. Jiang, J. Zhu, G. Yao, M. Gao, Y. Lin, Dual-Band Laser Selective Etching for Stretchable and Strain Interference-Free Pressure Sensor Arrays. Adv. Funct. Mater. 2024, 2401532.
https://doi.org/10.1002/adfm.202401532
