薄膜是面内应变传感的良好选择,也可以与现代电子工业兼容。王中林团队首次开发出压电晶体管阵列的薄膜。结果表明,应变单位的灵敏度(量规因子)最高可达199,是商用箔规的灵敏度100倍。每个传感单元校准后,器件上的应变分布被传感器阵列成功地测量和映射。
Song, M. et al. Flexible Li-doped ZnO Piezotronic Transistor Array for In-plane Strain Mapping. Nano Energy
Doi:https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2018.11.013.
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2211285518308267