如何简便地将原子逐个组装到功能器件上是纳米技术的终极目标。本质上，实现这一目标的可能性取决于如何在原子水平上将物质可视化，如何诱导和控制原子尺度的相关运动，如何促进和直接发生化学反应，如何协调和控制制造过程朝向所需的原子结构。近日，橡树岭国家实验室的Ondrej Dyck和Sergei V. Kalinin等人总结了在原子尺度电子束操控技术在化学转化、材料改变和原子动力学研究方面的最新进展。综述了从电子束诱导材料转变到原子精确掺杂和多原子组装的研究进展，以及相关的工程、理论和大数据挑战。

Ondrej Dyck*, Maxim Ziatdinov, David B. Lingerfelt, Raymond R. Unocic, Bethany M. Hudak, Andrew R. Lupini, Stephen Jesse & Sergei V. Kalinin*. Atom-by-atom fabrication with electron beams. Nature Reviews Materials, 2019

DOI: 10.1038/s41578-019-0118-z

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