锂电池是最有发展前景的电化学储能器件，而高性能电池材料的发展正成为瓶颈。为了进一步提高电池的电化学性能，有必要设计和制备具有新颖结构的新材料。磁控溅射是一种物理气相沉积技术，具有沉积范围广、沉积速度快、易于控制、镀膜面积大、薄膜附着力强等优点。这些优点使得磁控溅射在锂电池材料的制备和改性中得到了广泛的应用。有鉴于此，北京理工大学陈人杰教授、李丽教授和Ji Qian等人对锂电池用磁控溅射技术进行了系统的综述。

本文要点：

1）综述了磁控溅射的结构和机理的发展，并详细比较了磁控溅射与其他气相沉积设备，包括原子层沉积（ALD）、热蒸发（TE）、分子束外延（MBE）、脉冲激光沉积（PLD）的优点。

2）根据电池组件的分类，讨论了磁控溅射在锂电池重要材料演变中的各种应用，包括电极材料、固体电解质以及其他电池组件（隔膜、中间层、集流体等）。此外，重点介绍了在高比能负极表面制备人工固电解质界面（SEI）膜的方法，这一应用可能指导磁控溅射在锂电池中的未来发展方向。

3）从器件本身的发展及其在锂电池中的应用方面提出了未来的展望，以指导后续的研究，促进磁控溅射和锂电池的发展。

Yitian Ma et al. Materials and Structure Engineering by Magnetron Sputtering for Advanced Lithium Batteries. Energy Storage Mater. 2021.

DOI: 10.1016/j.ensm.2021.04.012.

https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2405829721001549